ECD Anlage für 300 mm Wafer - PR431566-2480-W k
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · München, Bayern
Aktenzeichen PR431566-2480-W kveröffentlicht 19.02.2024LieferleistungenVerhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
- Laufzeit
- 13 Monate
Dieses Verfahren ist abgeschlossen oder älter. Die Seite bleibt zur Information erreichbar.
Diese Frist ist vorbei. Das läuft gerade
Offene Ausschreibungen derselben Leistung im Gebiet München.
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Alle Ausschreibungen: Lieferleistungen in Bayern (431 offen)
Geplant · Neuausschreibung möglich
Vertrag endete voraussichtlich am
bereits erreicht · aus Vertragsdatum und Laufzeit errechnet
Endet ein Vertrag, schreibt die Vergabestelle die Leistung oft neu aus. Merken Sie den Vertrag vor: Wir erinnern Sie per E-Mail vor dem Vertragsende und melden, wenn dieselbe Vergabestelle eine ähnliche Leistung ausschreibt.
Verlängerungen sind nicht eingerechnet. Ob und wann neu ausgeschrieben wird, entscheidet die Vergabestelle. Die Erkennung einer Neuausschreibung ist eine Schätzung. Weitere auslaufende Verträge
Auf einen Blick
- Art des Auftrags
- Lieferleistungen
- Geschätzter Wert
- ?keine Angabe
- Laufzeit
- 13 Monate
- Lose
- 1
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren mit TeilnahmewettbewerbVgV, EU-weit
- Rahmenvereinbarung
- nein
- Einreichung
- ?keine Angabe
Schnellprüfung für Bieter
- ?Unterlagen frei zugänglichkeine Angabe
- ?Elektronische Einreichung verpflichtendkeine Angabe
- ?Nebenangebote zugelassenkeine Angabe
- ?Mehrere Hauptangebote zugelassenkeine Angabe
- ?Laut Auftraggeber für KMU geeignetkeine Angabe
- ?Sicherheiten verlangtkeine Angabe
- ?Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)keine Angabe
- ?E-Rechnung verpflichtendkeine Angabe
- ?Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
- Elektronische Auktionnein
- Aus EU-Mitteln finanziertnein
- ?Wiederkehrender Auftragkeine Angabe
Einordnungvon uns ausgewertet
Zuerst bewerben sich Unternehmen mit einem Teilnahmeantrag, danach geben ausgewählte Bewerber Angebote ab.
Über Inhalt und Preis der Angebote kann verhandelt werden. Oft behält sich die Vergabestelle vor, den Zuschlag ohne Verhandlung zu erteilen: Das erste Angebot sollte dann schon das letzte sein.
Kein Angebot mehr möglich. Wer gewonnen hat und wie viele Angebote eingingen, steht unter Zuschläge; für Folgeaufträge lohnt der Blick auf Laufzeit und Vergabestelle.
Das Verfahren ist abgeschlossen; diese Meldung nennt das Ergebnis.
Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 82 Tage (352 Verfahren, 24 Monate).
Sie erhält im Median 1 Angebot je Los (750 Lose mit Angabe).
Wertung laut Bekanntmachung: Preis 40 %, Leistung und Qualität 60 %.
- Technical Description40 %
- Delivery Time20 %
- Price40 %
Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.
Das kostet etwa 6,7 von 100 Punkten der Gesamtwertung.
| 10 % teurer | −3,6 Punkte |
| 25 % teurer | −8 Punkte |
| 50 % teurer | −13,3 Punkte |
| 100 % teurer | −20 Punkte |
Annahme: Preispunkte = günstigstes Angebot geteilt durch das eigene. Die verbindliche Formel steht in den Vergabeunterlagen.
Fristen und TermineStand 08.11.2026
- Veröffentlichungvor 33 Monaten
- Heute
Beschreibung
ECD Anlage für 300 mm Wafer
Beschreibung des Loses
1 pc of 300 mm Wafer Electro Plating (ECD) Platform with options: 5.5.1 Hardware Compatibility Options 5.5.2 Precision Drive Head Upgrade Option 5.5.3 Pre-Aligner Upgrade Option 5.5.4 Dry Ring Upgrade Option 5.5.5 Spin Rinse Dry Chamber Upgrade Option 5.5.6 Further Chamber Upgrade Options 5.5.7 Indium Plating Process for Wafer Level Packaging Applications: -5.2.10.1 General plating bath parameters -5.2.10.2 POR plating bath (wider range is better; (Inorganics & concentrations (g/L, ppm); Additive package & concentrations (mL/L) Plating Bath Temperature (°C): min, max, target; Electrolyte flow rate (L/min): min, max, target -5.2.10.3 WLP feature fill capability -5.2.10.4 Current set values -5.2.10.5 Current density -5.2.10.5 Plating steps -5.2.10.6 Film Thickness and Uniformity (100% open area, edge exclusion: 5 mm) -5.2.10.7 Sheet resistance (1000 nm Indium) -5.2.10.8 Wafer rotation (rpm): POR target, min, max -5.2.10.9 Paddle speed: POR target, min, max -5.2.10.10 Purity of plated Indium films -5.2.10.11 Film crystallinity Avg. grain size -5.2.10.12 Film crystallinity Preferred texture) -5.2.10.13 Film crystallinity Avg. Surface roughness (process of record) -5.2.10.14 Total POR process time per wafer 5.6.1 Additive Dosing System 5.6.2 Electrolyte Degassing System 5.6.3 DI Prewet Degassing System
Gegenstand nach CPV
- 42990000Diverse Maschinen und Geräte für besondere ZweckeHauptgegenstand
Bedingungen
Zuschlag3 von 3 angegeben
- Qualität
- Technical Description
- Qualität
- Delivery Time
- Preis
- Price
Eignung0 von 2 angegeben
- Kriterien
- ?keine Angabe
- Nachreichen von Unterlagen
- ?keine Angabe
Laufzeit und Umfang3 von 6 angegeben
- Vertragsbeginn
- ?keine Angabe
- Vertragsende
- ?keine Angabe
- Dauer
- 13 Monate
- Verlängerung
5.5.1 Hardware Compatibility Options 5.5.2 Precision Drive Head Upgrade Option 5.5.3 Pre-Aligner Upgrade Option 5.5.4 Dry Ring Upgrade Option 5.5.5 Spin Rinse Dry Chamber Upgrade Option 5.5.6 Further Chamber Upgrade Options 5.5.7 Indium Plating Process for Wafer Level Packaging Applications: - … ganz lesenkürzer
5.5.1 Hardware Compatibility Options 5.5.2 Precision Drive Head Upgrade Option 5.5.3 Pre-Aligner Upgrade Option 5.5.4 Dry Ring Upgrade Option 5.5.5 Spin Rinse Dry Chamber Upgrade Option 5.5.6 Further Chamber Upgrade Options 5.5.7 Indium Plating Process for Wafer Level Packaging Applications: -5.2.10.1 General plating bath parameters -5.2.10.2 POR plating bath (wider range is better; (Inorganics & concentrations (g/L, ppm); Additive package & concentrations (mL/L) Plating Bath Temperature (°C): min, max, target; Electrolyte flow rate (L/min): min, max, target -5.2.10.3 WLP feature fill capability -5.2.10.4 Current set values -5.2.10.5 Current density -5.2.10.5 Plating steps -5.2.10.6 Film Thickness and Uniformity (100% open area, edge exclusion: 5 mm) -5.2.10.7 Sheet resistance (1000 nm Indium) -5.2.10.8 Wafer rotation (rpm): POR target, min, max -5.2.10.9 Paddle speed: POR target, min, max -5.2.10.10 Purity of plated Indium films -5.2.10.11 Film crystallinity Avg. grain size -5.2.10.12 Film crystallinity Preferred texture) -5.2.10.13 Film crystallinity Avg. Surface roughness (process of record) -5.2.10.14 Total POR process time per wafer 5.6.1 Additive Dosing System 5.6.2 Electrolyte Degassing System 5.6.3 DI Prewet Degassing System- Optionen
- ?keine Angabe
- Rahmenvereinbarung
- nein
Angebot und Einreichung0 von 8 angegeben
- Elektronische Einreichung
- ?keine Angabe
- Einreichung über
- ?keine Angabe
- Sprache
- ?keine Angabe
- Nebenangebote
- ?keine Angabe
- Mehrere Hauptangebote
- ?keine Angabe
- Bindefrist
- ?keine Angabe
- Angebotsöffnung
- ?keine Angabe
- Sicherheiten
- ?keine Angabe
Ausführung1 von 4 angegeben
- Vertraulichkeit
- ?keine Angabe
- E-Rechnung
- ?keine Angabe
- Vorbehaltene Ausführung
- ?keine Angabe
- EU-Mittel
- Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Rechtsschutz2 von 2 angegeben
- Nachprüfungsstelle
- VERGABEKAMMER, Kaiser-Friedrich Str.16, 53113 Bonn
- Beschaffungsübereinkommen (GPA)
- fällt darunter
Keine Angabe passt zu diesem Suchbegriff.
Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.
Zuschläge
| Zuschlag an | Angebote |
|---|---|
| Applied Materials GmbH, Dresden | 1 |
AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle
- Anschrift
- Hansastraße 27c, 80686 München
- Website
- vergabe.fraunhofer.de
- Kontakt
- einkauf@
zv.fraunhofer.de
Bei uns erfasst
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Alle 43 offenen Ausschreibungen von Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12, dazu Zuschläge und Auftragnehmer
Marktumfeldvon uns ausgewertet
Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 429 (Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke) in Bayern. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.
Mehr Marktdaten, Vergabestellen und offene Ausschreibungen: Lieferleistungen in Bayern (431 offen)
Häufige Zuschlagsempfänger
- SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH4 Zuschläge
- SUSS MicroTec Solutions GmbH & Co. KG4 Zuschläge
- Applied Materials South East Asia Pte. Ltd.3 Zuschläge
- AutomatisierungsTechnik Voigt GmbH3 Zuschläge
- EV Group E. Thallner GmbH3 Zuschläge
- AP und S International GmbH2 Zuschläge
Preise und WettbewerbPremium
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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 04.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung d20b636a-b42d-48e5-92d6-4a3faf612784.