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vergebenEU-weitLieferleistungenmögliche Doppelmeldung

Defect Inspection Tool (IPMS-MRS04.1) - PR948311-2480-P

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · München, Bayern

Aktenzeichen PR948311-2480-Pveröffentlicht 16.12.2025LieferleistungenVerhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb

Teilnahmefristseit 279 Tagen abgelaufen
Zur Bekanntmachungvergabe.fraunhofer.de
Diese Fassung ist berichtigt worden. Aktuell ist die Meldung vom 16.12.2025.Zur aktuellen Fassung

Auf einen Blick

Art des Auftrags
Lieferleistungen
Geschätzter Wert
keine Angabe
Laufzeit
23 Monate
Lose
1
Verfahren
Verhandlungsverfahren mit TeilnahmewettbewerbVgV, EU-weit
Rahmenvereinbarung
nein
Ort der Leistung
München80686, Bayern
Einreichung
elektronisch: Zulässigvergabe.fraunhofer.de

Schnellprüfung für Bieter

  • Unterlagen frei zugänglichja
  • Elektronische Einreichung verpflichtendnein
  • Nebenangebote zugelassennein
  • Mehrere Hauptangebote zugelassenja
  • Laut Auftraggeber für KMU geeignetnein
  • Sicherheiten verlangtkeine Angabe
  • Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)nein
  • E-Rechnung verpflichtendnein
  • Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
  • Elektronische Auktionnein
  • Aus EU-Mitteln finanziertja
  • Wiederkehrender Auftragnein

Einordnungvon uns ausgewertet

Wer darf bieten?

Zuerst bewerben sich Unternehmen mit einem Teilnahmeantrag, danach geben ausgewählte Bewerber Angebote ab.

Wird verhandelt?

Über Inhalt und Preis der Angebote kann verhandelt werden. Oft behält sich die Vergabestelle vor, den Zuschlag ohne Verhandlung zu erteilen: Das erste Angebot sollte dann schon das letzte sein.

Was jetzt zu tun ist

Teilnahmeantrag bis zur Teilnahmefrist einreichen und das Erstangebot so kalkulieren, als gäbe es keine Verhandlungsrunde.

Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 82 Tage (352 Verfahren, 24 Monate).

Sie erhält im Median 1 Angebot je Los (750 Lose mit Angabe).

Wertung laut Bekanntmachung: Preis 35 %, Leistung und Qualität 65 %.

  • Technsiche Ausführung55 %
  • Lieferzeit10 %
  • Preis35 %

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Mein Angebot ist% teurer als das günstigste.

Das kostet etwa 5,8 von 100 Punkten der Gesamtwertung.

Punktverlust je Mehrpreis
10 % teurer−3,2 Punkte
25 % teurer−7 Punkte
50 % teurer−11,7 Punkte
100 % teurer−17,5 Punkte

Annahme: Preispunkte = günstigstes Angebot geteilt durch das eigene. Die verbindliche Formel steht in den Vergabeunterlagen.

Fristen und TermineStand 08.11.2026

  1. Veröffentlichung
    vor 11 Monaten
  2. Teilnahmeanträge bis 09:00 Uhr
    vor 9 Monaten
  3. Heute

Beschreibung

1 piece: Defect Inspection Tool (IPMS-MRS04.1)

This specification outlines the requirements for a defect inspection system designed for the detection, identification, and classification of particles and pattern defects on both patterned and bare wafers. The tool can accommodate substrates with variable thickness ranging from approximately 390 µm to 1200 µm, providing flexibility for different wafer types and applications. The inspection system boasts a sensitivity level down to 200 nm, enabling the detection of even the smallest defects that could impact wafer performance. The system is optimized for the semiconductor manufacturing process, specifically targeting 200 mm MEMS wafers in a CMOS-compatible cleanroom environment.

Optional items: 1.7 General Requirements Capability to process 300 mm wafers yes/no 3.2 Process Specification Capability for separate BF/DF illumination yes/no 3.3 Process Specification Capability for dual channel inspection (BF/ DF) yes/no 3.7 Process Specification The tool supports waferless recipe creation yes/no 3.29 Process Specification Capability of generating full wafer image yes/no 4.2 Contamination level Contamination level for non-precious metals " Al, Ti ≤ 50.0*E10 at/cm², all other metals ≤ 5.0*E10 at/cm²; yes/no" 4.4 Contamination level Contamination level for noble metals (Ag, Au, Pd, Pt, Ru) "Confirmation of precious metal concentration < 0.05*E10 at/cm2 (< LOD); yes/no" 5.5 Cassette / Wafer specifications Option to handle wafer with high bow < ± 200 µm yes/no

Gegenstand nach CPV

Bedingungen

Zuschlag2 von 2 angegeben

Technsiche Ausführung55 %
Lieferzeit10 %
Preis35 %
Qualität
Technsiche AusführungTechnische Ausführung
Qualität
Lieferzeit

Eignung7 von 7 angegeben

Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Referenzen / References Referenz von mindestens 3 vergleichbaren Projekten (Kurzbeschreibung Gerät, Kundennennung), nicht älter als drei Jahre ***ACHTUNG***: Sollten Sie aus Datenschutzrechtlichen Gründen Ihre Ansprechpartner nicht benennen dürfen, so kategorisieren Sie bitte Ihren Auftraggeber (Fo … ganz lesenReferenzen / References Referenz von mindestens 3 vergleichbaren Projekten (Kurzbeschreibung Gerät, Kundennennung), nicht älter als drei Jahre ***ACHTUNG***: Sollten Sie aus Datenschutzrechtlichen Gründen Ihre Ansprechpartner nicht benennen dürfen, so kategorisieren Sie bitte Ihren Auftraggeber (Forschung, Industrie, andere öffentliche Auftraggeber) und bestätigen die Vergleichbarkeit der Referenzen mit der ausgeschriebenen Leistung.
Durchschnittliche jährliche Belegschaft
Firmenprofil Darstellung der Firma: Mindestangaben: - Gründungsjahr - wichtige Meilensteine des Unternehmens - Anzahl der Mitarbeiter - was wird hergestellt/welche Leistungen werden erbracht --> Alle Angaben bitte in Textform, KEINE Links oder Bilder.
Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
1. Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach § 123 und § 124 GWB 2. Eigenerklärung-Selfdeclaration - (EU) Nr. 833/2014
Finanzkennzahlen
Umsatz: Angaben zum Umsatz der letzten drei Geschäftsjahre
Nachreichen von Unterlagen
Die Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist nicht ausgeschlossen.
Ausschlussgründe
Mit Insolvenz vergleichbares Verfahren, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Bildung krimineller Vereinigungen, Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen, Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subventionsbetrug, Menschenhand … ganz lesenMit Insolvenz vergleichbares Verfahren, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Bildung krimineller Vereinigungen, Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen, Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subventionsbetrug, Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung, Zahlungsunfähigkeit, Verstöße gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen, Insolvenz, Täuschung oder unzulässige Beeinflussung des Vergabeverfahrens, Interessenkonflikt, Wettbewerbsverzerrung wegen Vorbefassung, Schwere Verfehlung, Mangelhafte Erfüllung eines früheren öffentlichen Auftrags, Verstöße gegen sozialrechtliche Verpflichtungen, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Sozialversicherungsbeiträgen, Einstellung der beruflichen Tätigkeit, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Steuern oder Abgaben, Bildung terroristischer Vereinigungen, Rein nationale Ausschlussgründe
Begrenzung der Bewerberzahl
3 bis … Bewerber

Laufzeit und Umfang2 von 6 angegeben

Vertragsbeginn
keine Angabe
Vertragsende
keine Angabe
Dauer
23 Monate
Verlängerung
keine Angabe
Optionen
keine Angabe
Rahmenvereinbarung
nein

Angebot und Einreichung6 von 9 angegeben

Elektronische Einreichung
Zulässig
Einreichung über
vergabe.fraunhofer.de
Sprache
Deutsch
Nebenangebote
Nicht zulässig
Mehrere Hauptangebote
Zulässig
Elektronischer Katalog
Nicht zulässig
Bindefrist
keine Angabe
Angebotsöffnung
keine Angabe
Sicherheiten
keine Angabe

Ausführung6 von 7 angegeben

Ausführungsbedingungen
Leistung: Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Vertraulichkeit
keine Angabe
E-Rechnung
Zulässig
Elektronische Bestellung
wird genutzt
Elektronische Zahlung
wird genutzt
Vorbehaltene Ausführung
Nein
EU-Mittel
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert

Rechtsschutz3 von 3 angegeben

Nachprüfungsstelle
Kaiser-Friedrich-Straße 16, 53113 Bonn
Fristen für Nachprüfungsanträge
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekamm … ganz lesenEin Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Beschaffungsübereinkommen (GPA)
fällt darunter

Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

Name
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Art
Öffentliches Unternehmen, Allgemeine öffentliche Verwaltung
Anschrift
Hansastraße 27c, 80686 München
Website
vergabe.fraunhofer.de
Kontakt
einkauf@zv.fraunhofer.de

Bei uns erfasst

3.247Bekanntmachungen
1.265Zuschlagsmeldungen

Alle Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle

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Marktumfeldvon uns ausgewertet

Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 429 (Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke) in Bayern. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.

175vergebene Aufträge
1,5Angebote je Los im Median (176 Lose mit Angabe)
–Zuschlagswert bei nur 9 Meldungen plausibel angegeben

Mehr Marktdaten, Vergabestellen und offene Ausschreibungen: Lieferleistungen in Bayern (434 offen)

Häufige Zuschlagsempfänger

Preise und WettbewerbPremium

Verlauf des Verfahrens3 Meldungen

  1. Vergabebekanntmachung
  2. Bekanntmachung (diese Seite)Frist 02.02.2026
  3. 1. Berichtigung · Korrektur – BeschafferFrist 02.02.2026

Berichtigte Fassungen bleiben aufrufbar. Die Suche zeigt je Verfahren nur die aktuelle.

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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 03.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung f5bc1bb4-f2ad-4253-a946-3c3252b49816.