Über Inhalt und Preis der Angebote kann verhandelt werden. Oft behält sich die Vergabestelle vor, den Zuschlag ohne Verhandlung zu erteilen: Das erste Angebot sollte dann schon das letzte sein.

Was jetzt zu tun ist

Teilnahmeantrag bis zur Teilnahmefrist einreichen und das Erstangebot so kalkulieren, als gäbe es keine Verhandlungsrunde.

Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 76 Tage (28 Verfahren, 24 Monate).

Sie erhält im Median 1 Angebot je Los (69 Lose mit Angabe).

Wertung laut Bekanntmachung: Preis 35 %, Leistung und Qualität 65 %.

Qualitätskriterium65 %
Preiskriterium35 %

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Was kostet ein höherer Preis an Punkten?

Mein Angebot ist% teurer als das günstigste.

Das kostet etwa 5,8 von 100 Punkten der Gesamtwertung.

Punktverlust je Mehrpreis
10 % teurer	−3,2 Punkte
25 % teurer	−7 Punkte
50 % teurer	−11,7 Punkte
100 % teurer	−17,5 Punkte

Annahme: Preispunkte = günstigstes Angebot geteilt durch das eigene. Die verbindliche Formel steht in den Vergabeunterlagen.

Fristen und TermineStand 07.11.2026

18.02.2026
Veröffentlichung
vor 9 Monaten
20.03.2026
Teilnahmeanträge bis 12:00 Uhr
vor 8 Monaten
07.11.2026
Heute
01.12.2026
Vertragsbeginn
Laufzeit bis 31.12.2026
in 24 Tagen

Beschreibung

The tender item is an ion beam etching process tool to be used for 300mm wafer fabrication at the FRAUNHOFER IPMS. The systems will be used for the processing of CMOS wafers in a cleanroom class 1000 (approximately class 6 EN ISO 14644-1) production environment. Therefore, it is necessary to fulfill require-ments regarding metal contamination and particle generation compatible with industry standards.

Gegenstand nach CPV

42900000 Maschinen für allgemeine und besondere ZweckeHauptgegenstand

Bedingungen

Zuschlag2 von 2 angegeben

Qualität: QualitätskriteriumGewichtung (Punkte, genau) 65Technische Ausführung
Preis: PreiskriteriumGewichtung (Punkte, genau) 35Preis

Eignung7 von 7 angegeben

Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen: Firmenprofil / Profile of your company Darstellung der Firma: Mindestangaben: - Gründungsjahr - wichtige Meilensteine des Unternehmens - Anzahl der Mitarbeiter - was wird hergestellt/welche Leistungen werden erbracht --> Alle Angaben bitte in Textform, KEINE Links oder Bilder. Firmenprofil / Profile … ganz lesenkürzer
Firmenprofil / Profile of your company Darstellung der Firma: Mindestangaben: - Gründungsjahr - wichtige Meilensteine des Unternehmens - Anzahl der Mitarbeiter - was wird hergestellt/welche Leistungen werden erbracht --> Alle Angaben bitte in Textform, KEINE Links oder Bilder. Firmenprofil / Profile of your company Darstellung der Firma: Mindestangaben: - Gründungsjahr - wichtige Meilensteine des Unternehmens - Anzahl der Mitarbeiter - was wird hergestellt/welche Leistungen werden erbracht --> Alle Angaben bitte in Textform, KEINE Links oder Bilder. *** ENGLISH *** Presentation of the company: Minimum information: - Year of foundation - Important milestones of the company - Number of employees - what is produced/what services are provided --> Please provide all information in text form, NO links or images.
Referenzen zu bestimmten Arbeiten: Referenzen / References Referenz von mindestens 3 vergleichbaren Projekten (Kurzbeschreibung Gerät, Kundennennung), nicht älter als drei Jahre ***ACHTUNG***: Sollten Sie aus Datenschutzrechtlichen Gründen Ihre Ansprechpartner nicht benennen dürfen, so kategorisieren Sie bitte Ihren Auftraggeber (For … ganz lesenkürzer
Referenzen / References Referenz von mindestens 3 vergleichbaren Projekten (Kurzbeschreibung Gerät, Kundennennung), nicht älter als drei Jahre ***ACHTUNG***: Sollten Sie aus Datenschutzrechtlichen Gründen Ihre Ansprechpartner nicht benennen dürfen, so kategorisieren Sie bitte Ihren Auftraggeber (Forschung, Industrie, andere öffentliche Auftraggeber) und bestätigen die Vergleichbarkeit der Referenzen mit der ausgeschriebenen Leistung. --> Alle Angaben bitte in Textform, KEINE Links oder Bilder. *** ENGLISH *** Reference of at least 3 comparable projects, not older than three years (min. information: name of client, contact person incl. contact details). *** ATTENTION *** If for data protection reasons, you are not allowed to name your contact persons, please categorize your client (research, industry, other public contractors). --> Please provide all information in text form, NO links or images.
Allgemeiner Jahresumsatz: Umsatz der letzten 3 Jahre Turnover for the last 3 years Ist ein Unternehmen, das sich neu am Markt befindet, nicht in der Lage, die Zahlen für alle geforderten Geschäftsjahre anzugeben, so hat es dies begründet anzuzeigen. Soweit möglich ist ein geeigneter Nachweis zur Neugründung beizufügen. Die … ganz lesenkürzer
Umsatz der letzten 3 Jahre Turnover for the last 3 years Ist ein Unternehmen, das sich neu am Markt befindet, nicht in der Lage, die Zahlen für alle geforderten Geschäftsjahre anzugeben, so hat es dies begründet anzuzeigen. Soweit möglich ist ein geeigneter Nachweis zur Neugründung beizufügen. Die Zahlen zum Umsatz sind in diesem Fall ab dem Zeitpunkt der Gründung des Unternehmens anzugeben. --> Alle Angaben bitte in Textform, KEINE Links oder Bilder. English: If a company that is new to the market is unable to provide figures for all the required financial years, it must provide a reasoned explanation. Where possible, suitable evidence of the new establishment must be enclosed. In this case, the turnover figures must be provided from the date of the company's establishment --> Please provide all information in text form, NO links or images.
Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen: 1_C_Eigenerklärung_Russland-Sanktionen_VO 833-2014_08.25 or 1_C_Self-declaration_Sanctions on Russia_VO 833-2014_08.25
Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen: 1_C_Selfdeclaration (123-124 GWB)
Nachreichen von Unterlagen: Die Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist ausgeschlossen.
Ausschlussgründe: Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Betrug oder Subventionsbetrug, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung, Bildung krimineller Vereinigungen, Bildung terroristischer Vereinigungen, Verstöße gegen umweltrechtliche Verpf … ganz lesenkürzer
Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Betrug oder Subventionsbetrug, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung, Bildung krimineller Vereinigungen, Bildung terroristischer Vereinigungen, Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen, Verstöße gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen, Verstöße gegen sozialrechtliche Verpflichtungen, Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen, Schwere Verfehlung, Täuschung oder unzulässige Beeinflussung des Vergabeverfahrens, Interessenkonflikt, Wettbewerbsverzerrung wegen Vorbefassung, Mangelhafte Erfüllung eines früheren öffentlichen Auftrags, Rein nationale Ausschlussgründe, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Sozialversicherungsbeiträgen, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Steuern oder Abgaben, Einstellung der beruflichen Tätigkeit, Zahlungsunfähigkeit, Insolvenz, Mit Insolvenz vergleichbares Verfahren

Laufzeit und Umfang3 von 5 angegeben

Vertragsbeginn: 01.12.2026
Vertragsende: 31.12.2026
Verlängerung: keine Angabe
Optionen: keine Angabe
Rahmenvereinbarung: nein

Angebot und Einreichung7 von 10 angegeben

Elektronische Einreichung: Erforderlich
Einreichung über: deutsche-evergabe.de
Sprache: Deutsch
Nebenangebote: Nicht zulässig
Mehrere Hauptangebote: Nicht zulässig
Elektronische Signatur: nicht verlangt
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Bindefrist: keine Angabe
Angebotsöffnung: keine Angabe
Sicherheiten: keine Angabe

Ausführung5 von 6 angegeben

Vertraulichkeit: keine Angabe
E-Rechnung: Erforderlich
Elektronische Bestellung: wird genutzt
Elektronische Zahlung: wird genutzt
Vorbehaltene Ausführung: Nein
EU-Mittel: Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert

Rechtsschutz3 von 3 angegeben

Nachprüfungsstelle: Vergabekammer des Bundes, Kaiser-Friedrich-Str. 116, 53113 53113
Fristen für Nachprüfungsanträge: (1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen. (2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmach … ganz lesenkürzer
(1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen. (2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Abgabe der Bewerbung oder der Angebote gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. (3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 3 GWB spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbungs- oder Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. (4) Ein Vergabenachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB innerhalb von 15 Kalendertagen nach der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, bei der Vergabekammer einzureichen.
Beschaffungsübereinkommen (GPA): fällt nicht darunter

Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

Name: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
Art: Öffentliches Unternehmen, Allgemeine öffentliche Verwaltung
Anschrift: Am Wolfsmantel 33, 91058 Erlangen
Website: deutsche-evergabe.de
Kontakt: einkauf@iis.fraunhofer.de

Bei uns erfasst

281Bekanntmachungen

104Zuschlagsmeldungen

VMWare Speicher inkl. Support28.10.2026 · 1 Angebot
Unterstützungsleistungen für das Projekt „PRS-EK“21.10.2026 · 1 Angebot
Unterstützungsleistungen für das Projekt „PRS-EK21.10.2026 · 1 Angebot
PR1168445 - Consulting and design services for the project Concept development of a Design-for-Test07.10.2026 · 1 Angebot

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PR1260373 - Entwicklung einer Web-Plattform für den Betrieb produktnaher AudioanwendungenFraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. · ErlangenFrist 30.11.2026
Support services for the project „Customer Support with focus on Microelectronics and IC Layout“Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. · ErlangenFrist 09.11.2026

Alle 2 offenen Ausschreibungen von Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V., dazu Zuschläge und Auftragnehmer

Marktumfeldvon uns ausgewertet

Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 429 (Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke) in Bayern. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.

175vergebene Aufträge

1,5Angebote je Los im Median (176 Lose mit Angabe)

–Zuschlagswert bei nur 9 Meldungen plausibel angegeben

Mehr Marktdaten, Vergabestellen und offene Ausschreibungen: Lieferleistungen in Bayern (431 offen)

Häufige Zuschlagsempfänger

SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH4 Zuschläge
SUSS MicroTec Solutions GmbH & Co. KG4 Zuschläge
Applied Materials South East Asia Pte. Ltd.3 Zuschläge
AutomatisierungsTechnik Voigt GmbH3 Zuschläge
EV Group E. Thallner GmbH3 Zuschläge
AP und S International GmbH2 Zuschläge

Preise und WettbewerbPremium

Verlauf des Verfahrens2 Meldungen

08.07.2026Vergabebekanntmachung
18.02.2026Bekanntmachung (diese Seite)Frist 20.03.2026

Berichtigte Fassungen bleiben aufrufbar. Die Suche zeigt je Verfahren nur die aktuelle.

Clustertool for Ion Beam Etching of 300mm wafers

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Schnellprüfung für Bieter

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