Zum Inhalt
Menü
Merken
vergebenEU-weitLieferleistungen

CDSEM - PR619473-2270-W

Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. · München, Bayern

Aktenzeichen PR619473-2270-Wveröffentlicht 20.11.2024LieferleistungenVerhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb

Frist im Verfahrenseit 832 Tagen abgelaufen

Dieses Verfahren ist abgeschlossen oder älter. Die Seite bleibt zur Information erreichbar.

Bereits vergeben. Das läuft gerade

Offene Ausschreibungen derselben Leistung im Gebiet München.

Alle Ausschreibungen: Lieferleistungen in Bayern (434 offen)

Auf einen Blick

Art des Auftrags
Lieferleistungen
Geschätzter Wert
keine Angabe
Laufzeit
keine Angabe
Lose
1
Verfahren
Verhandlungsverfahren mit TeilnahmewettbewerbVgV, EU-weit
Rahmenvereinbarung
nein
Ort der Leistung
München80686, Bayern
Einreichung
keine Angabe

Schnellprüfung für Bieter

  • Unterlagen frei zugänglichkeine Angabe
  • Elektronische Einreichung verpflichtendkeine Angabe
  • Nebenangebote zugelassenkeine Angabe
  • Mehrere Hauptangebote zugelassenkeine Angabe
  • Laut Auftraggeber für KMU geeignetkeine Angabe
  • Sicherheiten verlangtkeine Angabe
  • Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)keine Angabe
  • E-Rechnung verpflichtendkeine Angabe
  • Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
  • Elektronische Auktionnein
  • Aus EU-Mitteln finanziertnein
  • Wiederkehrender Auftragkeine Angabe

Einordnungvon uns ausgewertet

Wer darf bieten?

Zuerst bewerben sich Unternehmen mit einem Teilnahmeantrag, danach geben ausgewählte Bewerber Angebote ab.

Wird verhandelt?

Über Inhalt und Preis der Angebote kann verhandelt werden. Oft behält sich die Vergabestelle vor, den Zuschlag ohne Verhandlung zu erteilen: Das erste Angebot sollte dann schon das letzte sein.

Was jetzt zu tun ist

Kein Angebot mehr möglich. Wer gewonnen hat und wie viele Angebote eingingen, steht unter Zuschläge; für Folgeaufträge lohnt der Blick auf Laufzeit und Vergabestelle.

Das Verfahren ist abgeschlossen; diese Meldung nennt das Ergebnis.

Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 87 Tage (60 Verfahren, 24 Monate).

Sie erhält im Median 2 Angebote je Los (131 Lose mit Angabe).

Wertung laut Bekanntmachung: Preis 35 %, Leistung und Qualität 65 %.

  • Technische Ausführung55 %
  • Lieferzeit10 %
  • Preis35 %

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Mein Angebot ist% teurer als das günstigste.

Das kostet etwa 5,8 von 100 Punkten der Gesamtwertung.

Punktverlust je Mehrpreis
10 % teurer−3,2 Punkte
25 % teurer−7 Punkte
50 % teurer−11,7 Punkte
100 % teurer−17,5 Punkte

Annahme: Preispunkte = günstigstes Angebot geteilt durch das eigene. Die verbindliche Formel steht in den Vergabeunterlagen.

Fristen und TermineStand 08.11.2026

  1. Veröffentlichung
    vor 24 Monaten
  2. Heute

Beschreibung

1 Stück CDSEM

Ein CDSEM mit hoher Auflösung zur automatisierten Strukturbreiten-Analyse an strukturierten Elektronenstrahllithographie-Lacken auf 200 mm-Wafern.

1.1.2 Option: 150 mm Wafer (Rund mit Semi-Flat)

1.1.3 Option: 100 mm Wafer (Rund mit Semi-Flat)

1.1.4 Option: 3'' Wafer (Rund mit Semi-Flat)

1.1.5 Option: 2'' Wafer (Rund mit Semi-Flat)

1.1.6 Option: Bruchstücke von Wafern

2.4 Option: Der Strahlstrom soll kontinuierlich ohne Blendenwechsel eingestellt werden können.

2.12 Option: Rauscharme BSE-Detektoren für niedrige Strahlströme.

2.13 Option: Das System soll über eine Driftkorrektur verfügen, um die Anfahrgenauigkeit noch weiter zu erhöhen.

3.2 Option: Ausgabe über eine SECS/GEM-Schnittstelle von allen verfügbaren Daten, wie z.B. Status, Prozessparameter, ausgeführtes Rezept und Logistikereignisse ("online.local"/ "Engineering Mode"). Dieser Betrieb darf keinerlei zusätzliche Verriegelungen etc. gegenüber dem Betrieb ohne SECS/GEM-Schnittstelle erfordern/aktivieren.

6.2.1 Oprtion: Servicevertrag mit allen Ersatzteilen alle zwei Jahre für Servicevertrag mit allen Ersatzteilen alle zwei Jahre für 2 Jahre.

6.2.2 Option: Servicevertrag mit allen Ersatzteilen alle zwei Jahre für Servicevertrag mit allen Ersatzteilen alle zwei Jahre für 4 Jahre.

6.2.3 Option: Servicevertrag mit allen Ersatzteilen alle zwei Jahre für Servicevertrag mit allen Ersatzteilen alle zwei Jahre für 6 Jahre.

Gegenstand nach CPV

Bedingungen

Zuschlag2 von 2 angegeben

Technische Ausführung55 %
Lieferzeit10 %
Preis35 %
Qualität
Technische Ausführung
Qualität
Lieferzeit

Eignung0 von 2 angegeben

Kriterien
keine Angabe
Nachreichen von Unterlagen
keine Angabe

Laufzeit und Umfang1 von 5 angegeben

Vertragsbeginn
keine Angabe
Vertragsende
keine Angabe
Verlängerung
keine Angabe
Optionen
keine Angabe
Rahmenvereinbarung
nein

Angebot und Einreichung0 von 8 angegeben

Elektronische Einreichung
keine Angabe
Einreichung über
keine Angabe
Sprache
keine Angabe
Nebenangebote
keine Angabe
Mehrere Hauptangebote
keine Angabe
Bindefrist
keine Angabe
Angebotsöffnung
keine Angabe
Sicherheiten
keine Angabe

Ausführung1 von 4 angegeben

Vertraulichkeit
keine Angabe
E-Rechnung
keine Angabe
Vorbehaltene Ausführung
keine Angabe
EU-Mittel
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert

Rechtsschutz2 von 2 angegeben

Nachprüfungsstelle
Vergabekammern des Bundes, Kaiser-Friedrich-Straße 16, 53113 Bonn
Beschaffungsübereinkommen (GPA)
fällt darunter

Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.

Zuschläge

Zuschläge je Los
Zuschlag anAngebote
JEOL (Germany) GmbH, Freising1

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

Name
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Art
Öffentliches Unternehmen, Allgemeine öffentliche Verwaltung
Anschrift
Hansastraße 27c, 80686 München
Website
vergabe.fraunhofer.de
Kontakt
einkauf@zv.fraunhofer.de

Bei uns erfasst

889Bekanntmachungen
247Zuschlagsmeldungen

Alle Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle

Marktumfeldvon uns ausgewertet

Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 429 (Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke) in Bayern. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.

175vergebene Aufträge
1,5Angebote je Los im Median (176 Lose mit Angabe)
–Zuschlagswert bei nur 9 Meldungen plausibel angegeben

Mehr Marktdaten, Vergabestellen und offene Ausschreibungen: Lieferleistungen in Bayern (434 offen)

Häufige Zuschlagsempfänger

Preise und WettbewerbPremium

Verlauf des Verfahrens2 Meldungen

  1. Vergabebekanntmachung (diese Seite)
  2. BekanntmachungFrist 29.07.2024

Berichtigte Fassungen bleiben aufrufbar. Die Suche zeigt je Verfahren nur die aktuelle.

Ähnliche offene Ausschreibungen

Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 04.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung 448aea4f-0a44-4315-bf7b-c470a42f480f.