Beschaffung Reactive Ion Etching System
Max-Planck-Institut für Chemische Physik fester Stoffe · Dresden, Sachsen
Aktenzeichen MPG_MPICPFS-2025-0008veröffentlicht 30.04.2025LieferleistungenOffenes Verfahren
- Laufzeit
- 7 Monate
- 09.06.2025 – 31.12.2025
- Verfahren
- Offenes Verfahren
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Auf einen Blick
- Art des Auftrags
- Lieferleistungen
- Geschätzter Wert
- ?keine Angabe
- Laufzeit
- 7 Monate09.06.2025 – 31.12.2025
- Lose
- 1
- Verfahren
- Offenes VerfahrenVgV, EU-weit
- Rahmenvereinbarung
- nein
- Einreichung
- elektronisch: Zulässigtender24.de
Schnellprüfung für Bieter
- Unterlagen frei zugänglichja
- Elektronische Einreichung verpflichtendnein
- Nebenangebote zugelassennein
- Mehrere Hauptangebote zugelassenja
- Laut Auftraggeber für KMU geeignetnein
- ?Sicherheiten verlangtkeine Angabe
- Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)nein
- E-Rechnung verpflichtendnein
- ?Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
- Elektronische Auktionnein
- Aus EU-Mitteln finanziertnein
- Wiederkehrender Auftragnein
Einordnungvon uns ausgewertet
Alle interessierten Unternehmen dürfen ein Angebot abgeben.
Es wird nicht verhandelt. Gewertet wird das Angebot so, wie es eingereicht wurde.
Unterlagen auf der Vergabeplattform abrufen und das Angebot vollständig bis zur Angebotsfrist abgeben.
Die Gewichtung von Preis und Leistung steht nicht in der Bekanntmachung, nur in den Vergabeunterlagen.
Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.
Fristen und TermineStand 06.11.2026
- Veröffentlichungvor 18 Monaten
- Angebotsfrist 11:00 Uhrvor 17 Monatenüber tender24.de
- Öffnung der Angebote 11:00 Uhrvor 17 Monaten
- Vertragsbeginnvor 17 MonatenLaufzeit bis 31.12.2025
- Heute
Beschreibung
Gegenstand der Ausschreibung ist die Beschaffung, Lieferung und Installation eines Reactive Ion Etching Systems (RIE).
Beschreibung des Loses
Reaktives Ionenätzen (RIE) ist ein etabliertes Verfahren zur präzisen Strukturierung von Materialien im Nanometerbereich und spielt für unser Institut eine zentrale Rolle in der Bearbeitung zweidimensionaler Materialien. Für unsere geplanten Forschungsarbeiten im Bereich 2D-Materialien benötigen wir ein RIE-System, das ein kontrolliertes, anisotropes Ätzen mit hoher Selektivität und Prozessstabilität ermöglicht. Der zukünftige Einsatzschwerpunkt liegt auf der beschädigungsfreien Strukturierung von empfindlichen, einschichtigen Proben sowie der Übertragung lithografischer Maskenmuster auf nanoskaliger Ebene. Ziel ist es, durch den Einsatz von RIE unter anderem Elektrodenstrukturen auf 2D-Materialien mit hoher Prä-zision und Reproduzierbarkeit herzustellen.
Gegenstand nach CPV
- 31712100Mikroelektronische Maschinen und GeräteHauptgegenstand
Bedingungen
Zuschlag0 von 1 angegeben
- Kriterien
- ?keine Angabe
Eignung5 von 5 angegeben
- Kriterium
- genannt
- Kriterium
- genannt
- Kriterium
- genannt
- Nachreichen von Unterlagen
- Die Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist nicht ausgeschlossen.
- Ausschlussgründe
Mit Insolvenz vergleichbares Verfahren, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Bildung krimineller Vereinigungen, Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen, Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subventionsbetrug, Menschenhand … ganz lesenkürzer
Mit Insolvenz vergleichbares Verfahren, Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung, Bildung krimineller Vereinigungen, Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen, Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen, Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung, Betrug oder Subventionsbetrug, Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung, Zahlungsunfähigkeit, Verstöße gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen, Insolvenz, Täuschung oder unzulässige Beeinflussung des Vergabeverfahrens, Interessenkonflikt, Wettbewerbsverzerrung wegen Vorbefassung, Schwere Verfehlung, Mangelhafte Erfüllung eines früheren öffentlichen Auftrags, Verstöße gegen sozialrechtliche Verpflichtungen, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Sozialversicherungsbeiträgen, Einstellung der beruflichen Tätigkeit, Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Steuern oder Abgaben, Bildung terroristischer Vereinigungen
Laufzeit und Umfang3 von 5 angegeben
- Vertragsbeginn
- 09.06.2025
- Vertragsende
- 31.12.2025
- Verlängerung
- ?keine Angabe
- Optionen
- ?keine Angabe
- Rahmenvereinbarung
- nein
Angebot und Einreichung7 von 9 angegeben
- Elektronische Einreichung
- Zulässig
- Einreichung über
- tender24.de
- Sprache
- Deutsch, Englisch
- Nebenangebote
- Nicht zulässig
- Mehrere Hauptangebote
- Zulässig
- Elektronischer Katalog
- Nicht zulässig
- Bindefrist
- ?keine Angabe
- Angebotsöffnung
- 02.06.2025, 11:00 Uhr
- Sicherheiten
- ?keine Angabe
Ausführung5 von 6 angegeben
- Vertraulichkeit
- ?keine Angabe
- E-Rechnung
- Zulässig
- Elektronische Bestellung
- wird nicht genutzt
- Elektronische Zahlung
- wird nicht genutzt
- Vorbehaltene Ausführung
- Nein
- EU-Mittel
- Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Rechtsschutz2 von 2 angegeben
- Nachprüfungsstelle
- Regierungspräsidium München, Vergabekammer Südbayern, Maximilian Str. 39, 80538 München
- Beschaffungsübereinkommen (GPA)
- fällt darunter
Keine Angabe passt zu diesem Suchbegriff.
Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.
AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle
- Art
- Bildung
- Anschrift
- Nöthnitzer Str. 40, 01187 Dresden
- Website
- cpfs.mpg.de
- Kontakt
- kein Funktionspostfach angegeben, siehe Originalbekanntmachung
Bei uns erfasst
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Marktumfeldvon uns ausgewertet
Preise und WettbewerbPremium
Verlauf des Verfahrens2 Meldungen
- Vergabebekanntmachung
- Bekanntmachung (diese Seite)Frist 02.06.2025
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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 04.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung 7d16aa05-986f-4960-ac82-cebb72763556.