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Automatisiertes Cluster Depositionstool

Universität Stuttgart · Stuttgart, Baden-Württemberg

Aktenzeichen 25-004veröffentlicht 04.09.2025LieferleistungenOffenes Verfahren

Frist im Verfahrenseit 508 Tagen abgelaufen

Dieses Verfahren ist abgeschlossen oder älter. Die Seite bleibt zur Information erreichbar.

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Offene Ausschreibungen derselben Leistung im Gebiet Stuttgart.

Alle Ausschreibungen: Labor- und Messgeräte in Baden-Württemberg (22 offen)

Auf einen Blick

Art des Auftrags
Lieferleistungen
Geschätzter Wert
keine Angabe
Laufzeit
keine Angabe
Lose
1
Verfahren
Offenes VerfahrenVgV, EU-weit
Rahmenvereinbarung
nein
Ort der Leistung
Stuttgart70174, Baden-Württemberg
Einreichung
keine Angabe

Schnellprüfung für Bieter

  • Unterlagen frei zugänglichkeine Angabe
  • Elektronische Einreichung verpflichtendkeine Angabe
  • Nebenangebote zugelassenkeine Angabe
  • Mehrere Hauptangebote zugelassenkeine Angabe
  • Laut Auftraggeber für KMU geeignetkeine Angabe
  • Sicherheiten verlangtkeine Angabe
  • Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)keine Angabe
  • E-Rechnung verpflichtendkeine Angabe
  • Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
  • Elektronische Auktionnein
  • Aus EU-Mitteln finanziertnein
  • Wiederkehrender Auftragkeine Angabe

Einordnungvon uns ausgewertet

Wer darf bieten?

Alle interessierten Unternehmen dürfen ein Angebot abgeben.

Wird verhandelt?

Es wird nicht verhandelt. Gewertet wird das Angebot so, wie es eingereicht wurde.

Was jetzt zu tun ist

Kein Angebot mehr möglich. Wer gewonnen hat und wie viele Angebote eingingen, steht unter Zuschläge; für Folgeaufträge lohnt der Blick auf Laufzeit und Vergabestelle.

Das Verfahren ist abgeschlossen; diese Meldung nennt das Ergebnis.

Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 71 Tage (106 Verfahren, 24 Monate).

Sie erhält im Median 1 Angebot je Los (173 Lose mit Angabe).

Wertung laut Bekanntmachung: Preis 30 %, Leistung und Qualität 70 %.

  • Preis30 %
  • Separate Kammern für Sputtern und LT-Verdampfen20 %
  • Weitere Quellen30 %
  • Erweiterte Funkitonen20 %

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Mein Angebot ist% teurer als das günstigste.

Das kostet etwa 5 von 100 Punkten der Gesamtwertung.

Punktverlust je Mehrpreis
10 % teurer−2,7 Punkte
25 % teurer−6 Punkte
50 % teurer−10 Punkte
100 % teurer−15 Punkte

Annahme: Preispunkte = günstigstes Angebot geteilt durch das eigene. Die verbindliche Formel steht in den Vergabeunterlagen.

Fristen und TermineStand 07.11.2026

  1. Veröffentlichung
    vor 14 Monaten
  2. Heute

Beschreibung

Automatisiertes Dünnschicht-Clustertool

Beschreibung des Loses

Das Institut für Photovoltaik (IPV) möchte ein automatisiertes Cluster-Depositionstool für die automatisierte Herstellung von Perowskit-Solarzellen der nächsten Generation anschaffen. Das Gerät soll dabei u.a. das Aufbringen hybrider Perowskit-, sowie anorganischer bzw. organischer Dünnschichten entweder auf Glasträger oder auf Siliziumwafer ermöglichen. Ein automatisierter Probentransporter soll die Proben zur Beschichtung von Kammer zu Kammer transportieren. Die programmierbare sequenzielle Abscheidung gewährleistet dabei eine besonders hohe Präzision und Reproduzierbarkeit auch bei langwierigen Prozessen. Die Anlage soll zum einen ermöglichen, das Schichtwachstum über die integrierte In-Situ Diagnostik über einen weiten Parameterraum zu untersuchen.

Bedingungen

Zuschlag4 von 4 angegeben

Preis
Gewichtung (Punkte, genau) 30Das günstigste Angebot erhält 30 Punkte, Berrechnung: max. Punkte - (max. Punkte *(Preis-günstigster Preis)/günstigsten Preis )
Qualität
Separate Kammern für Sputtern und LT-VerdampfenGewichtung (Punkte, genau) 20Aus Kostengründen haben wir erlaubt, dass TCO-Sputtern, sowie Hoch- und Niedrigtemperatur-verdampfung in Kammer (4) zusammengelegt werden können. Sollte das Angebot aber darüber hinaus jeweils eine separate Kammer für Sputtern und Hoch-temperaturverdampfen von Metallen, sowie eine separate Kammer für die Niedrigtemperatur-verdampfung von organischen Schichten vorsehen, werden weitere vergeben.
Qualität
Weitere QuellenGewichtung (Punkte, genau) 30Für die folgenden, zusätzlich zu den Mindestanforderungen im Angebot enthaltenen Sputter- und Verdampferquellen für Kammer (4) werden bis zu maximal 30 weitere Punkte vergeben. - Je zusätzlicher Sputterquelle (maximal 2 Quellen) -Sollte eine der Sputterquellen "Soft-Sputtering"* ermöglichen, werden weitere zehn Punkte vergeben (maximal eine Quelle) -Je zusätzlicher Niedertemperaturquelle (max. 2 Quellen) -Je zusätzlicher Hochtemperaturquelle (max. 2 Quellen) *"soft sputtering" bedeutet, dass die Probe vor dem Einfluss hochenergetischer/reaktiver Ionen aus dem Sputterplasma geschützt ist. Die Effektivität dieser Methoden ist nachzuweisen (z.B. über Referenzmessungen).
Qualität
Erweiterte FunkitonenGewichtung (Punkte, genau) 20"Zusätzlich zu den oben erwähnten Punkten werden für folgendes Zubehör weitere Punkte bis maximal 20 Punkte vergeben: -Möglichkeit zur Reinigung der Kammern (z.B. über Ausheizen, Plasma, etc.) 5 Punkte -Automatischer Maskentausch mittels des Verteilroboters 10 Punkte -Temperaturkontrolle für das regenerierte Inertgas an der Prep-GB mit Kühlleistung mindestens 2 kW thermisch 5 Punkte" - Reinigung oder Temperaturkontrolle allein 5 Maskentausch allein oder Reinigung+Temperaturkontrolle 10 "Maskentausch + Reinigung oder Maskentausch + Temperaturkontrolle" 15 -Alle erfüllt 20

Eignung0 von 2 angegeben

Kriterien
keine Angabe
Nachreichen von Unterlagen
keine Angabe

Laufzeit und Umfang1 von 5 angegeben

Vertragsbeginn
keine Angabe
Vertragsende
keine Angabe
Verlängerung
keine Angabe
Optionen
keine Angabe
Rahmenvereinbarung
nein

Angebot und Einreichung0 von 8 angegeben

Elektronische Einreichung
keine Angabe
Einreichung über
keine Angabe
Sprache
keine Angabe
Nebenangebote
keine Angabe
Mehrere Hauptangebote
keine Angabe
Bindefrist
keine Angabe
Angebotsöffnung
keine Angabe
Sicherheiten
keine Angabe

Ausführung1 von 4 angegeben

Vertraulichkeit
keine Angabe
E-Rechnung
keine Angabe
Vorbehaltene Ausführung
keine Angabe
EU-Mittel
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert

Rechtsschutz3 von 3 angegeben

Nachprüfungsstelle
Vergabekammer Baden-Württemberg im Regierungspräsidium Karlsruhe, Durlacher Allee 100, 76137 Karlsruhe
Fristen für Nachprüfungsanträge
Es gelten die Bestimmungen des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB). Hinsichtlich der Einleitung von Nachprüfungsverfahren wird auf § 160 GWB verwiesen. Dieser lautet: (1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. (2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ei … ganz lesenEs gelten die Bestimmungen des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB). Hinsichtlich der Einleitung von Nachprüfungsverfahren wird auf § 160 GWB verwiesen. Dieser lautet: (1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. (2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht.   (3) Der Antrag ist unzulässig, soweit 1. Der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; 2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.   Hinsichtlich der Information nicht berücksichtigter Bieter und Bewerber gelten die §§ 134, 135 GWB. Insbesondere gilt: Bieter deren Angebote für den Zuschlag nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gemäß § 134 GWB darüber informiert. Das gilt auch für Bewerber, denen keine Information über die Ablehnung ihrer Bewerbung zur Verfügung gestellt wurde, bevor die Mitteilung über die Zuschlagsentscheidung an die betroffenen Bieter ergangen ist. Ein Vertrag darf erst 15 Kalendertage nach Absendung dieser Information durch den Auftraggeber geschlossen werden; bei Übermittlung per Telefax oder auf elektronischem Wege beträgt diese Frist 10 Kalendertage.
Beschaffungsübereinkommen (GPA)
fällt darunter

Zusätzliche Informationen1 von 1 angegeben

Hinweis
Bekanntmachungs-ID: CXUEYY8YTA0ZUURA Zuschlagskriterien für diese Ausschreibung: 1. Gesamtpreis 30 Punkte / 30% 2. Qualität (Separate Kammern), 20 Punkte / 20% 3. Qualität (Weitere Quellen), 30 Punkte / 30% 4. Qualität (Erweiterte Funktionen) 20 Punkte / 20% ------------------------------------- … ganz lesenBekanntmachungs-ID: CXUEYY8YTA0ZUURA Zuschlagskriterien für diese Ausschreibung: 1. Gesamtpreis 30 Punkte / 30% 2. Qualität (Separate Kammern), 20 Punkte / 20% 3. Qualität (Weitere Quellen), 30 Punkte / 30% 4. Qualität (Erweiterte Funktionen) 20 Punkte / 20% -------------------------------------------------------------------- Zahlungsbedingungen sind in § 7 der AGB der Universität Stuttgart geregelt. Zahlungen der Universität an den Auftragnehmer vor Erhalt des Gegenstandes/der Dienstleistung sind nach der Landeshaushaltsordnung für Baden-Württemberg (§56 LHO) grundsätzlich verboten. Ist eine Vorleistung im Ausnahmefall erforderlich, weil der Gegenstand/die Dienstleistung ansonsten nicht beschafft werden könnte, so muss die Vorleistung mittels einer selbstschuldnerische Bankbürgschaft (§§ 232, 1113 ff., 1191 ff. BGB) abgesichert werden. -------------------------------------------------------------------- Information zur Umsetzung der datenschutzrechtlichen Vorgaben nach der Datenschutzgrundverordnung (DSGVO) an der Universität Stuttgart. -------------------------------------------------------------------- Fragen sind ausschließlich elektronisch über das Vergabeportal unter Bezugnahme auf den jeweiligen Anhang sowie unter Nennung des jeweiligen Abschnitts bzw. des Paragraphen zu stellen. Verbindlicher Bestandteil der Vergabeunterlagen werden nur die über das Vergabeportal erteilten Antworten. Mündliche Auskünfte und Erklärungen haben keine Gültigkeit. -------------------------------------------------------------------- Support und Beratung zum Vergabeportal: Anleitungen und Tutorials: https://support.cosinex.de/ Beratung: support@cosinex.de

Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.

Zuschläge

Zuschläge je Los
Zuschlag anAngebote
Korvus Technology Ltd, High Wycombe, Bucks5

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

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Marktumfeldvon uns ausgewertet

Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 380 (Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)) in Baden-Württemberg. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.

280vergebene Aufträge
1Angebote je Los im Median (124 Lose mit Angabe)
244.407 €Zuschlagswert im Median
120.045 € – 372.365 €mittlere Hälfte, 53 Werte

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Preise und WettbewerbPremium

Verlauf des Verfahrens2 Meldungen

  1. Vergabebekanntmachung (diese Seite)
  2. BekanntmachungFrist 17.06.2025

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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 03.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung 2e038530-075e-446a-86e4-190a33fe6809.