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vergebenEU-weitLieferleistungen

Anlage zum Reaktiven Ionenätzen

Universität Stuttgart · Stuttgart, Baden-Württemberg

Aktenzeichen 24-262veröffentlicht 10.04.2025LieferleistungenOffenes Verfahren

Frist im Verfahrenseit 596 Tagen abgelaufen

Dieses Verfahren ist abgeschlossen oder älter. Die Seite bleibt zur Information erreichbar.

Diese Frist ist vorbei. Das läuft gerade

Offene Ausschreibungen derselben Leistung im Gebiet Stuttgart.

Alle Ausschreibungen: Lieferleistungen in Baden-Württemberg (146 offen)

Auf einen Blick

Art des Auftrags
Lieferleistungen
Geschätzter Wert
429 Tsd. €
Laufzeit
keine Angabe
Lose
1
Verfahren
Offenes VerfahrenVgV, EU-weit
Rahmenvereinbarung
nein
Ort der Leistung
Stuttgart70174, Baden-Württemberg
Einreichung
keine Angabe

Schnellprüfung für Bieter

  • Unterlagen frei zugänglichkeine Angabe
  • Elektronische Einreichung verpflichtendkeine Angabe
  • Nebenangebote zugelassenkeine Angabe
  • Mehrere Hauptangebote zugelassenkeine Angabe
  • Laut Auftraggeber für KMU geeignetkeine Angabe
  • Sicherheiten verlangtkeine Angabe
  • Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)keine Angabe
  • E-Rechnung verpflichtendkeine Angabe
  • Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
  • Elektronische Auktionnein
  • Aus EU-Mitteln finanziertnein
  • Wiederkehrender Auftragkeine Angabe

Einordnungvon uns ausgewertet

Wer darf bieten?

Alle interessierten Unternehmen dürfen ein Angebot abgeben.

Wird verhandelt?

Es wird nicht verhandelt. Gewertet wird das Angebot so, wie es eingereicht wurde.

Was jetzt zu tun ist

Kein Angebot mehr möglich. Wer gewonnen hat und wie viele Angebote eingingen, steht unter Zuschläge; für Folgeaufträge lohnt der Blick auf Laufzeit und Vergabestelle.

Das Verfahren ist abgeschlossen; diese Meldung nennt das Ergebnis.

Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 71 Tage (106 Verfahren, 24 Monate).

Sie erhält im Median 1 Angebot je Los (173 Lose mit Angabe).

Wertung laut Bekanntmachung: Preis 60 %, Leistung und Qualität 40 %.

  • Preis60 %
  • Erfahrungsmerkmale10 %
  • Leckprüfung10 %
  • maximalen Leistungswerte der Plasmaerzeugung10 %
  • Umweltaspekte10 %

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Mein Angebot ist% teurer als das günstigste.

Das kostet etwa 10 von 100 Punkten der Gesamtwertung.

Punktverlust je Mehrpreis
10 % teurer−5,5 Punkte
25 % teurer−12 Punkte
50 % teurer−20 Punkte
100 % teurer−30 Punkte

Annahme: Preispunkte = günstigstes Angebot geteilt durch das eigene. Die verbindliche Formel steht in den Vergabeunterlagen.

Fristen und TermineStand 07.11.2026

  1. Veröffentlichung
    vor 19 Monaten
  2. Heute

Beschreibung

Für ein großes Reinraumlabor wird eine Anlage zum Reaktiven Ionenätzen mit induktiv-gekoppelter Plasmaquelle benötigt. Gesucht wird ein erprobtes System, da die Ätzprozesse für Forschungszwecke benötigt werden und zentral in den Prozesssträngen verangert werden müssen. Die Anlage muss ein breites Proben- und Materialspektrum abdecken können, sowohl in zu ätzendem Material als auch Probengrößen.

Gegenstand nach CPV

Bedingungen

Zuschlag5 von 5 angegeben

Preis
Gewichtung (Punkte, genau) 60Das Angebot mit dem niedrigsten Gesamtpreis erhält die Höchstpunktzahl. Ist der Gesamtpreis eines Angebots z.B. um 100% höher im Vergleich zum Angebot mit dem niedrigsten Gesamtpreis, dann erhält dieses Angebot 0 Punkte. 0 Punkte stellen die Untergrenze dar, es werden keine Negativpunkte vergeben.
Qualität
ErfahrungsmerkmaleGewichtung (Punkte, genau) 10Erfahrungsmerkmale: Für den Betrieb ist Prozesswissen zentral und für eine nachhaltige Nutzung ist ein Austausch mit anderen Nutzern erfahrungsgemäß von großer Bedeutung. Daher wird der Nachweis von mind. 5 Referenzen für das gleiche System (mit ICP Quelle) aus den letzten 5 Jahren in räumlicher Nähe zusätzlich gewichtet.
Qualität
LeckprüfungGewichtung (Punkte, genau) 10Für die Bandbreite der möglichen Ätzprozesse sind die maximalen Leistungswerte der Plasmaerzeugung wichtig. Die Mindestanforderungen betragen P(ICP) >= 400 W an der ICP Quelle und P(Substrat) >= 200 W bei je 13.56 MHz. Für größere Leistungen werden entsprechend zusätzliche Punkte vergeben.
Qualität
maximalen Leistungswerte der PlasmaerzeugungGewichtung (Punkte, genau) 10Für die Bandbreite der möglichen Ätzprozesse sind die maximalen Leistungswerte der Plasmaerzeugung wichtig. Die Mindestanforderungen betragen P(ICP) >= 400 W an der ICP Quelle und P(Substrat) >= 200 W bei je 13.56 MHz. Für größere Leistungen werden entsprechend zusätzliche Punkte vergeben.
Qualität
UmweltaspekteGewichtung (Punkte, genau) 10Umweltaspekte: Nachhaltigkeit und Umweltschutz sind Kernziele des Landes Baden-Württemberg.

Eignung0 von 2 angegeben

Kriterien
keine Angabe
Nachreichen von Unterlagen
keine Angabe

Laufzeit und Umfang1 von 5 angegeben

Vertragsbeginn
keine Angabe
Vertragsende
keine Angabe
Verlängerung
keine Angabe
Optionen
keine Angabe
Rahmenvereinbarung
nein

Angebot und Einreichung0 von 8 angegeben

Elektronische Einreichung
keine Angabe
Einreichung über
keine Angabe
Sprache
keine Angabe
Nebenangebote
keine Angabe
Mehrere Hauptangebote
keine Angabe
Bindefrist
keine Angabe
Angebotsöffnung
keine Angabe
Sicherheiten
keine Angabe

Ausführung1 von 4 angegeben

Vertraulichkeit
keine Angabe
E-Rechnung
keine Angabe
Vorbehaltene Ausführung
keine Angabe
EU-Mittel
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert

Rechtsschutz3 von 3 angegeben

Nachprüfungsstelle
Vergabekammer Baden-Württemberg im Regierungspräsidium Karlsruhe, Durlacher Allee 100, 76137 Karlsruhe
Fristen für Nachprüfungsanträge
Es gelten die Bestimmungen des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB). Hinsichtlich der Einleitung von Nachprüfungsverfahren wird auf § 160 GWB verwiesen. Dieser lautet: (1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. (2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ei … ganz lesenEs gelten die Bestimmungen des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB). Hinsichtlich der Einleitung von Nachprüfungsverfahren wird auf § 160 GWB verwiesen. Dieser lautet: (1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. (2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht.   (3) Der Antrag ist unzulässig, soweit 1. Der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; 2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.   Hinsichtlich der Information nicht berücksichtigter Bieter und Bewerber gelten die §§ 134, 135 GWB. Insbesondere gilt: Bieter deren Angebote für den Zuschlag nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gemäß § 134 GWB darüber informiert. Das gilt auch für Bewerber, denen keine Information über die Ablehnung ihrer Bewerbung zur Verfügung gestellt wurde, bevor die Mitteilung über die Zuschlagsentscheidung an die betroffenen Bieter ergangen ist. Ein Vertrag darf erst 15 Kalendertage nach Absendung dieser Information durch den Auftraggeber geschlossen werden; bei Übermittlung per Telefax oder auf elektronischem Wege beträgt diese Frist 10 Kalendertage.
Beschaffungsübereinkommen (GPA)
fällt darunter

Zusätzliche Informationen1 von 1 angegeben

Hinweis
Bekanntmachungs-ID: CXUEYY8YT4HFZ600 Zuschlagskriterien für diese Ausschreibung: 1. Preis: 60 Punkte (60 %) 2. Erfahrungsmerkmale: 10 Punkte (10 %) 3. Leckprüfung: 10 Punkte (10 %) 4. maximalen Leistungswerte der Plasmaerzeugung: 10 Punkte (10 %) 5. Umweltaspekte: 10 Punkte (10 %) ---------- … ganz lesenBekanntmachungs-ID: CXUEYY8YT4HFZ600 Zuschlagskriterien für diese Ausschreibung: 1. Preis: 60 Punkte (60 %) 2. Erfahrungsmerkmale: 10 Punkte (10 %) 3. Leckprüfung: 10 Punkte (10 %) 4. maximalen Leistungswerte der Plasmaerzeugung: 10 Punkte (10 %) 5. Umweltaspekte: 10 Punkte (10 %) -------------------------------------------------------------------- Die Zahlungsbedingungen sind in § 7 der AGB der Universität Stuttgart geregelt. Eine Vorauszahlung muss mittels selbstschuldnerischer Bankbürgschaft oder einer vergleichbaren Sicherheit abgesichert sein. Die Kosten für eine solche Bürgschaft trägt der Auftragnehmer. -------------------------------------------------------------------- Information zur Umsetzung der datenschutzrechtlichen Vorgaben nach der Datenschutzgrundverordnung (DSGVO) an der Universität Stuttgart. -------------------------------------------------------------------- Fragen sind ausschließlich elektronisch über das Vergabeportal unter Bezugnahme auf den jeweiligen Anhang sowie unter Nennung des jeweiligen Abschnitts bzw. des Paragraphen zu stellen. Verbindlicher Bestandteil der Vergabeunterlagen werden nur die über das Vergabeportal erteilten Antworten. Mündliche Auskünfte und Erklärungen haben keine Gültigkeit. -------------------------------------------------------------------- Support und Beratung zum Vergabeportal: Anleitungen und Tutorials: https://support.cosinex.de/ Beratung: support@cosinex.de

Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.

Zuschläge

Zuschläge je Los
Zuschlag anAngebote
Oxford Instruments GmbH, Wiesbaden1

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

Name
Universität Stuttgart
Art
Körperschaften des öffentlichen Rechts auf Landesebene, Bildung
Anschrift
Keplerstraße 7, 70174 Stuttgart
Website
uni-stuttgart.de
Kontakt
beschaffung@verwaltung.uni-stuttgart.de

Bei uns erfasst

1.269Bekanntmachungen
572Zuschlagsmeldungen

Alle Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle

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Marktumfeldvon uns ausgewertet

Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 317 (Elektronischer, elektromechanischer und elektrotechnischer Bedarf) in Baden-Württemberg. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.

16vergebene Aufträge
1Angebote je Los im Median (20 Lose mit Angabe)
–Zuschlagswert bei nur 4 Meldungen plausibel angegeben

Mehr Marktdaten, Vergabestellen und offene Ausschreibungen: Lieferleistungen in Baden-Württemberg (146 offen)

Preise und WettbewerbPremium

Verlauf des Verfahrens2 Meldungen

  1. Vergabebekanntmachung (diese Seite)
  2. BekanntmachungFrist 21.03.2025

Berichtigte Fassungen bleiben aufrufbar. Die Suche zeigt je Verfahren nur die aktuelle.

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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 04.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung 639cab40-6cd0-4a78-bbaa-0683ba767104.