Anlage Abscheidung organischer Schichten für Nanotechnologie und Mikrosystemtechnik

1.1 1 STK Gloveboxmodul: - Betrieb mit N2 Schutzgas - Bedienung einseitig, gleiche Seite, wie Bestandsglovebox - Untergestell mit Rollen und höhenverstellbaren Maschinenfüßen - Gasraum incl. Seitenwände - Chemiebeständige, durchsichtige Front aus Polycarbonat oder vergleichbarem Material mit Handschuhdurchführungen, Handschuhluken, welche für das Handling in der Bedampfungskammer vorgesehen sind, in ovaler Ausführung, vorzugsweise alle Handschuhluken in ovaler Ausführung - Glovebox-Handschuhe, Material Butylkautschuk, geometrisch und in der Anzahl passend zu den angebotenen Handschuhdurchführungen, Größe L - Verschlussdeckel für Handschuhluken, Anzahl derart, dass jeweils mindestens eine Luke jeder Art (kreisrund/oval) verschlossen werden kann - Innenraumbeleuchtung weiß, blendfrei - Montagemöglichkeit für Durchführungen für Strom, Gase oder Flüssigkeiten - Wenn konstruktiv bedingt notwendig: Durchführungen zum Anschluss eines Ellipsometers Uvisel plus der Firma Horiba - Staubfilter HEPA H13 am Gasein- und -ausgang - 1 fertige Stromdurchführung, einphasig 230V, mit in Glovebox liegender Stromverteilerleiste, mindestens 4-fach - N2-Gaspistole im Inneren der Glovebox mit Versorgung über interne Gasreinigung oder aus externem Inertgas - Alle für den Einbau oder Anbau und den Betrieb der unten spezifizierten Kammer zur physikalischen Gasphasenabscheidung benötigten Modifikationen 1.2 1 STK Verbindung des hier anzubietenden Gloveboxmoduls zu bestehender Gloveboxanlage GB1500 der Firma Sylatec, T-Schleuse - Alle notwendigen Umbauten an Bestandsanlage GB1500 zur linksseitigen Anbindung der Erweiterung, Arbeitsleistung sowie Materialien und sonstige Auslagen, die Umbauten erfolgen bevorzugt am Ort der Gesamtleistung, ansonsten Angebot inclusive Transport der Bestandsanlage vorlegen - Dichtheitstest der Bestandsanlage nach Umbauten, es ist aufzuzeigen, dass keine messbare Verschlechterung der Parameter im Vorher-Nachher-Vergleich auftritt, welche auf die erfolgten Umbauten zurückzuführen sind - Möglichkeit, Proben und Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 6" / 150mm zwischen der Bestandsanlage und dem Gloveboxmodul unter Schutzatmosphäre (N2) zu schleusen, sowie Möglichkeit, Proben und Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 6" / 150mm in die bestehende Glovebox als auch in die hier angebotene Glovebox Hinein- und Hinauszuschleusen (T-Schleuse) - Anbindung der T-Schleuse an externe N2-Gasversorgung zum Befüllen und Spülen - Alle für den Schleusvorgang und damit verbundene Betriebszustände (beispielsweise Evakuieren, Befüllen mit Inertgas, Spülen mit Inertgas, sonstige notwendige Betriebszustände) benötigten Pumpen (Scrollpumpe, ölfrei, Typ spezifizieren), Schläuche, Ventile und sonstiges Zubehör, Länge der Schläuche und der elektrischen Anschlüsse derart, dass eine dauerhafte Verbringung der Pumpe unter einem Lochboden in einer Tiefe von ca. 120cm unter Trittniveau erfolgen kann, Schwingungsentkopplung zum Untergrund, Pumpe bei Nichtgebrauch abschaltbar - Automatisierung des Schleusvorgangs und der damit verbundenen Betriebszustände an Anlagensteuerung 1.3 1 STK Manuell betriebene Schleuse zum Einschleusen kleiner Gegenstände - Anbindung der Schleuse an externe N2-Gasversorgung zum Befüllen und Spülen - Durchmesser der Schleuse bis zu 150mm, Länge bis zu 300mm, gedichtete Türen beidseitig - Alle für den Schleusvorgang und damit verbundene Betriebszustände (Evakuieren, Befüllen mit Inertgas, Spülen mit Inertgas, sonstige notwendige Betriebszustände) benötigten Pumpen (Scrollpumpe, ölfrei, Typ spezifizieren), Schläuche, Ventile, Schalldämpfer und sonstiges Zubehör, Länge der Schläuche und der elektrischen Anschlüsse derart, dass eine dauerhafte Verbringung der Pumpe unter einem Lochboden mit Rastermaß 60cm in einer Tiefe von ca. 100cm unter Trittniveau erfolgen kann, Pumpe bei Nichtgebrauch abschaltbar 1.4 1 STK Spüleinrichtung, Gasreinigung und Anlagenüberwachung mit Anzeige- und Bedieneinheit (Anlagensteuerung): - Komplettes Gasreinigungssystem zur Entfernung von Restfeuchte und Restsauerstoff (beides kleiner 1ppm) im Umwälzbetrieb, Regenerierung ausgelegt für Regeneriergas mit einem Wasserstoffgehalt von bis zu 5% (nicht brennbar), Regeneriergas ohne laborseitigen Gasanschluss bereitgestellt - Dimensionierung den Reinigungsvolumens passend zum Innenvolumen des angebotenen Gloveboxmoduls - Spüleinrichtung für das Gloveboxmodul mit Inertgas (N2) mit allen notwendigen Ventilen und Schläuchen, Überwachung der Restfeuchte und des Restsauerstoffgehaltes während des Spülvorgangs, zeitgesteuerte Abschaltung des Spülvorganges - Lösemittelabsorber bzw. Lösemittelfilter, fertig befüllt mit Aktivkohle, Wechsel des Filtermediums ohne Unterbrechung des Umwälzbetriebes möglich, beispielsweise über eine Bypasslösung, Einbindung in das Gloveboxsystem, Beladung mit mindestens 8kg Aktivkohle. - alle weiteren zum Betrieb benötigte Filter und Ventile - Vakuumpumpe (Scrollpumpe, ölfrei, Typ spezifizieren), Saugvermögen angepasst an zu pumpendes Volumen und Länge der Saugstrecke; Schläuche, Ventile, Schalldämpfer und sonstiges notwendiges Zubehör; Länge der Schläuche und der elektrischen Anschlüsse derart, dass eine dauerhafte Verbringung der Pumpe unter einem aufgeständerten Lochboden mit Rastermaß 60cm in einer Tiefe von ca. 100cm unter Trittniveau erfolgen kann, Pumpe bei Nichtgebrauch abschaltbar - Sensor mit Anzeige Restfeuchte, Messbereich 0-500ppm oder mehr, inklusive benötigter Anschlusskabel, inklusive benötigter Wandler und Anschlusskabel und sonstigem Zubehör, beispielsweise Flansch zur Anbindung an das Gloveboxsystem - Sensor mit Anzeige Rests