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Frist abgelaufenEU-weitLabor- und MessgeräteLieferleistungen

Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

Ruhr-Universität Bochum · Bochum, Nordrhein-Westfalen

Aktenzeichen WD/2026/BVG00084528veröffentlicht 13.08.2026LieferleistungenWettbewerblicher Dialog

Teilnahmefristseit 54 Tagen abgelaufen
Zur Bekanntmachungevergabe.nrw.de

Diese Frist ist vorbei. Das läuft gerade

Offene Ausschreibungen derselben Leistung in Nordrhein-Westfalen.

Alle Ausschreibungen: Labor- und Messgeräte in Nordrhein-Westfalen (35 offen)

Auf einen Blick

Art des Auftrags
Lieferleistungen
Geschätzter Wert
1,02 Mio. €
Laufzeit
keine Angabe
Lose
1
Verfahren
Wettbewerblicher DialogVgV, EU-weit
Rahmenvereinbarung
nein
Ort der Leistung
Bochum44801, Nordrhein-Westfalen
Einreichung
elektronisch: Erforderlichevergabe.nrw.de

Schnellprüfung für Bieter

  • Unterlagen frei zugänglichja
  • Elektronische Einreichung verpflichtendja
  • Nebenangebote zugelassennein
  • Mehrere Hauptangebote zugelassennein
  • Laut Auftraggeber für KMU geeignetnein
  • Sicherheiten verlangtnein
  • Teilnahme vorbehalten (z. B. Werkstätten)nein
  • E-Rechnung verpflichtendja
  • Vertraulichkeitserklärung verlangtkeine Angabe
  • Elektronische Auktionnein
  • Aus EU-Mitteln finanziertnein
  • Wiederkehrender Auftragkeine Angabe

Einordnungvon uns ausgewertet

Wer darf bieten?

Ausgewählte Bewerber entwickeln im Dialog mit der Vergabestelle Lösungen und geben danach Angebote ab.

Wird verhandelt?

Im Dialog werden Lösungen erarbeitet, nicht der Preis verhandelt.

Was jetzt zu tun ist

Teilnahmeantrag mit Referenzen einreichen und Kapazität für mehrere Dialogrunden einplanen.

Bei dieser Vergabestelle vergehen von der ersten Meldung bis zum Ergebnis im Mittel 74 Tage (8 Verfahren, 24 Monate).

Sie erhält im Median 1 Angebot je Los (13 Lose mit Angabe).

Die Gewichtung von Preis und Leistung steht nicht in der Bekanntmachung, nur in den Vergabeunterlagen.

Unterlagen schon heruntergeladen? Vergabeunterlagen prüfen (Team): Fristen, Gewichtung, Mengen, Zertifikate und Fehler im Preisblatt.

Fristen und TermineStand 08.11.2026

  1. Veröffentlichung
    vor 3 Monaten
  2. Teilnahmeanträge bis 12:00 Uhr
    vor 55 Tagen
  3. Heute

Beschreibung

Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.

Gegenstand nach CPV

Bedingungen

Zuschlag0 von 1 angegeben

Kriterien
keine Angabe

Eignung5 von 5 angegeben

Eintragung in ein relevantes Berufsregister
Wir sind Mitglied folgender Berufsgenossenschaft(en)*: Bezeichnung Mitgliedsnummer * Bezeichnung Mitgliedsnummer * Bieter, die ihren Sitz nicht in der Bundesrepublik Deutschland haben, geben den für sie zuständigen Träger an. Auf Wunsch und separate Aufforderung des Auftraggebers reichen wir eine … ganz lesenWir sind Mitglied folgender Berufsgenossenschaft(en)*: Bezeichnung Mitgliedsnummer * Bezeichnung Mitgliedsnummer * Bieter, die ihren Sitz nicht in der Bundesrepublik Deutschland haben, geben den für sie zuständigen Träger an. Auf Wunsch und separate Aufforderung des Auftraggebers reichen wir eine entsprechende Bescheinigung der Mitgliedschaft in einer Berufsgenossenschaft ein. * Eine Haftpflichtversicherung besteht bei folgendem Versicherungsunternehmen: Versicherer: Deckungssummen in EUR Sachschäden Vermögensschäden Personenschäden Auf Wunsch und separate Aufforderung des Auftraggebers reichen wir eine entsprechende Versicherungsbescheinigung ein. Alle Angaben sind in Dokument 02 vorzunehmen.
Maßnahmen zur Sicherstellung der Qualität
Zur technischen Leistungsfähigkeit des Bieters sind von diesem folgende Angaben zu machen: a) detaillierte Darstellung des Unternehmens und der Kompetenzschwerpunkte Hinweis: Die vorstehenden Angaben a) sind durch Eigenerklärungen zu erbringen. Für die Abgabe der Eigenerklärungen ist zwingend das v … ganz lesenZur technischen Leistungsfähigkeit des Bieters sind von diesem folgende Angaben zu machen: a) detaillierte Darstellung des Unternehmens und der Kompetenzschwerpunkte Hinweis: Die vorstehenden Angaben a) sind durch Eigenerklärungen zu erbringen. Für die Abgabe der Eigenerklärungen ist zwingend das vom Auftraggeber zur Verfügung gestellte Dokument 02 - Angebotsvordruck zu verwenden. Bei Bietergemeinschaften sind diese Angaben für alle Mitglieder der Bietergemeinschaft vorzulegen. Sofern ein Bewerber zum Nachweis seiner Eignung sich auf andere Unternehmen, insbesondere Subunternehmer beruft, sind entsprechende Angaben auch für diese vorzulegen. Bieter haben im Angebotsvordruck folgende Nachweise in Form von Eigenerklärungen zu erbringen: - Angabe von mindestens 3 Referenzen zu vergleichbaren Aufträgen - Eine Erklärung über die Verfügbarkeit eines technischen Services in Deutschland in weniger als einer Woche (5 Arbeitstage) nach Anfrage - Bestätigung an einem Interesse an einer gemeinsamen Weiterentwicklung von Ätzprozessen.
Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Zur wirtschaftlichen und finanziellen Leistungsfähigkeit des Bieters sind von diesem folgende Angaben zu machen: Zur wirtschaftlichen und finanziellen Leistungsfähigkeit des Bieters sind von diesem folgende Angaben zu machen: a) Angaben zum Bestehen einer Haftpflichtversicherung mit Angabe der Deck … ganz lesenZur wirtschaftlichen und finanziellen Leistungsfähigkeit des Bieters sind von diesem folgende Angaben zu machen: Zur wirtschaftlichen und finanziellen Leistungsfähigkeit des Bieters sind von diesem folgende Angaben zu machen: a) Angaben zum Bestehen einer Haftpflichtversicherung mit Angabe der Deckungssummen für Sach-,Vermögens- und Personenschäden, b) Angaben Umsatzzahlen der letzten 3 abgelaufenen Geschäftsjahre bezogen auf vergleichbare Aufträge und auf den Unternehmensgesamtumsatz Hinweis: Die Angaben zu den vorstehenden Buchstaben a) bis b) sind durch Eigenerklärungen zu erbringen. Für die Abgabe der Eigenerklärungen ist zwingend das vom Auftraggeber zur Verfügung gestellte Dokument 02 -Angebotsvordruck zu verwenden. Möglicherweise geforderte Mindeststandards
Nachreichen von Unterlagen
Die Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist nicht ausgeschlossen.
Begrenzung der Bewerberzahl
3 bis … Bewerber

Laufzeit und Umfang1 von 5 angegeben

Vertragsbeginn
keine Angabe
Vertragsende
keine Angabe
Verlängerung
keine Angabe
Optionen
keine Angabe
Rahmenvereinbarung
nein

Angebot und Einreichung7 von 9 angegeben

Elektronische Einreichung
Erforderlich
Einreichung über
evergabe.nrw.de
Sprache
Deutsch
Nebenangebote
Nicht zulässig
Mehrere Hauptangebote
Nicht zulässig
Elektronischer Katalog
Nicht zulässig
Bindefrist
keine Angabe
Angebotsöffnung
keine Angabe
Sicherheiten
nicht verlangt

Ausführung5 von 6 angegeben

Vertraulichkeit
keine Angabe
E-Rechnung
Erforderlich
Elektronische Bestellung
wird nicht genutzt
Elektronische Zahlung
wird nicht genutzt
Vorbehaltene Ausführung
Nein
EU-Mittel
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert

Rechtsschutz2 von 2 angegeben

Nachprüfungsstelle
Vergabekammer der Bezirksregierung Westfalen, Albrecht-Thaer-Str. 9, 48147 Münster
Beschaffungsübereinkommen (GPA)
fällt nicht darunter

Zusätzliche Informationen1 von 1 angegeben

Hinweis
#Bekanntmachungs-ID: CXPNYH7D2XQ#

Bezeichnungen aus den amtlichen eForms-Codelisten (EU und eForms-DE). Maßgeblich sind die Vergabeunterlagen.

AuftraggeberZur Seite der Vergabestelle

Name
Ruhr-Universität Bochum
Art
Körperschaften des öffentlichen Rechts auf Landesebene, Bildung
Anschrift
Universitätsstraße 150, 44801 Bochum
Kontakt
beschaffung@rub.de

Bei uns erfasst

236Bekanntmachungen
41Zuschlagsmeldungen

Alle Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle

Marktumfeldvon uns ausgewertet

Vergabemeldungen der letzten 24 Monate mit Hauptgegenstand CPV 380 (Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)) in Nordrhein-Westfalen. Abgeleitet aus veröffentlichten Bekanntmachungen, keine amtliche Statistik. Zuschlagswerte unter 1.000 € zählen wir als Platzhalter nicht mit.

350vergebene Aufträge
1Angebote je Los im Median (185 Lose mit Angabe)
240.910 €Zuschlagswert im Median
216.000 € – 445.595 €mittlere Hälfte, 68 Werte

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Häufige Zuschlagsempfänger

Preise und WettbewerbPremium

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Quelle: Bekanntmachungsservice des Bundes (oeffentlichevergabe.de), Lizenz CC0. Stand der Daten: 03.11.2026. Maßgeblich ist allein die Originalbekanntmachung. Kennung b750304c-da88-45ba-b95f-4b3656e001d8.