Abscheideanlage-/Cluster für 200mm Wafer (CMOS) - PR637844-2270-W

1 Stück Abscheideanlage-/Cluster für 200mm Wafer (CMOS)

Das Aufdampfcluster soll eine CMOS-kompatible Kombination aus Abscheidungen dünner Schichten und Vorbehandlungen ermöglichen. Ziel der Vorbehandlung ist die Entfernung von Feuchte & oberflächlichen Adsorbaten nach nasschemischen Prozessen, sowie die Entfernung von oberflächlichen Oxiden ohne einer Schädigung der oberflächlichen Schichten. Darüber hinaus soll das Cluster erweiterbar sein mit einer Kammer für die Plasmaunterstützte Oxidation von 200mm Wafern. Hauptanwendung des Aufdampfmoduls wird die gerichtete Abscheidung von Metallen mittels Verdampfung sein. Anwendungsbereich wird u.a. die Herstellung supraleitender Schichten sein, die u.A. in modernsten Quantentechnologien zum Einsatz kommen. Das Cluster wird darüberhinaus erweiterbar sein durch zusätzliche Module (zB Plasmamodul) um einen weitreichenden Anwendungsbereich abzudecken. Das Cluster ermöglicht eine State-of-the-art Prozessierung von Quanten-Bauteilen, wie supraleitenden Qubits

Optionen: -1.5. Ein nachträglich in das System integrierbares Abkühlmodul ist, wenn möglich anzubieten (Art der Kühlung, Lage im System). 2.3. "Optional soll angeboten werden, wie kleinere Waferformate (100mm & 150mm) Wafern mit Hilfe eines Carrier-Systems gehandelt werden können. " 5.18.Optional ist ein Massenspektrometer zur Restgaskontrolle anzubieten. 10.3. Als Option ist ein Ersatzteilkit gemäß üblicher Ersatzteillisten (wöchentlich, monatlich, viertel-/halbjährlich, jährlich) anzubieten für einen 24/7 Betrieb. Das Kit soll alle typischen Ersatzteile enthalten, um den reibungslosen Betrieb der Anlage über eine Laufzeit von 24 Monaten gewährleisten zu können. 10.7. Als Option sollen zusätzliche Trainingsschulungen für Operator und Prozessingenieure (für mindestens 3 Personen) angeboten werden. 10.12. Eine Erweiterung der Garantie auf 24 Monate soll möglich und im Angebot als Option mit separatem Preis ausgewiesen sein.